认证信息
认 证：工商信息已核实
访问量：925973
手机网站
扫一扫，手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP双模式
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式 高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应 多种用途。
特征
● 可变更电极构造提高等离子效果。
● 搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
● 可根据需求规格提供定制。
用途
● 硅晶圆的灰化及蚀刻
● 基板表面污垢处理
● IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
● 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有机物去除
● 界面活性处理
● 表面污染物去除
内槽
规格
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | ||
| 高频电源 | 13.56MHz | ||
| 输出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效电极尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 电极 | 平行平板 | 2段电极（独立） | 平板（多目的） |
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（填充气路另行安装） | ||
| 真空泵（标配） | 约1000L/min | 约1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 | ||
管路连接图
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- 日立全自动型原子力显微镜5500M
- YAMATO雅马拓洗涤台LSB
- YAMATO雅马拓轴辊式传送烘箱C1-011
- 日立高分辨环境透射电镜H-9500
- Nicolet iS50傅立叶变换红外光谱仪
- YAMATO雅马拓中央台LCA
- YAMATO雅马拓试剂架LUA·LUC·LUD
- YAMATO雅马拓X射线照射装置MBR-1618R-BE·MBR-1605R
- YAMATO雅马拓中央台LCD
- YAMATO雅马拓振荡器MK201D
- 日立通用多功能原子力显微镜5100N
- YAMATO雅马拓中央台LCE
- YAMATO雅马拓洗涤台LSA
- YAMATO雅马拓边台LFA
- 日立大型扫描电镜SU3900
- YAMATO雅马拓低温恒温培养箱INE800