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产品简介
可进行样品传输系统定制
● 操作快捷方便：放入样品收纳盒、自动处理、取出收纳盒。
● 软性基板也可以进行传送操作。
● 传送速度可在Hi-Low间调节。
● 可通过网络进行远程操作（选购品）。
规格
型号 | YSP63FA |
模式 | RIE（DP模式选购） |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W385×D362mm |
内腔尺寸 | W395×D378×H45mm（内尺寸） |
反应气体 | 2进气系统（氧气、氩气） |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
真空泵 | 旋转式真空泵（约500L/min） |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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